業界では以前より広く慣用されているアメリカ連邦規格を使用する事例が多々ある状況です。
では空気中の微粒子がどの程度少ないか、つまりどれくらいキレイなのか。
規格はJISやISOがありますが、現在クラスについては国際一体化規格であるISO規格に移行されています。
クリーンルームは空気中の微粒子が少ない部屋です。
ISO規格では1m3当たりの空気中に0.1μm以上の粒子が基準になっておりISOクラス1〜9までクラスを分類しています。
例えば、0.5μm微粒子が1立方フィートのなかに100個以下の事例はクラス100、0.5μm粒子が10000個以下の事例はクラス10000となります。
アメリカ連邦規格では1立方フィート(約30cm四方)の空気中に内蔵される0.5μm以上の大きさの粒子の数が何個かで、クリーンルームのクラス分類をしています。
これらについての規格がクラス(清浄度)です。
クラスの示す尺度は、刻み体積に含まれる粒子の数で示されます。